SiAl 硅铝管

‌SiAl靶材主要用于制作SiO2膜、Si3N4膜，主要用于光学玻璃AR膜系、Low-E玻璃膜系、半导体电子、TFT、平面显示和触摸屏玻璃。‌SiAl靶材在低辐射玻璃和AR涂层中也有广泛应用‌。此外，高纯度的SiAl靶材通过等离子体加热到熔融或半熔融状态，并高速冲击背管表面形成致密涂层，适用于玻璃镀膜材料‌，广泛应用于半导体行业和电子封装‌。也可用于制作各种薄膜，特别适用于光学和电子领域‌。

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产品描述

参数

靶材名称	材料纯度（≥%）	成分比例（wt%）	相对密度（≥%）	生产工艺	靶材形制（mm）	规格尺寸（按需定制）（mm）
SiAl	99.5	90:10 92:8	95	/	旋转靶材	*ID133OD145-163L4000mm*

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